本发明公开了一种基于叉指电极和铁酸锶的电阻式乙醇传感器,其结构包括:一半导体基片;一蒸镀于半导体基片表面的电极,所述电极包括接线电极和叉指电极;所述叉指电极表面设置有感测区,所述感测区涂敷有SrFeO3‑δ材料;一钝化保护层,所述钝化保护层覆盖半导体基片表面除叉指电极外的其它区域。本发明首次将半导体衬底叉指电极与高价态铁酸锶(SrFeO3‑δ)粉末相结合用于乙醇气体检测,测试结果表明,器件在不同温度下都表现出良好的感测性能,且制备工艺简单、可微型化、与多种智能设备兼容的特点,在不同的领域具有广泛应用。
本发明首次将半导体衬底叉指电极与高价态铁酸锶(SrFeO3-δ)粉末相结合用于乙醇气体检测,测试结果表明,器件在不同温度下都表现出良好的感测性能,且制备工艺简单、可微型化、与多种智能设备兼容的特点,在不同的领域具有广泛应用。
黑龙江大学(Heilongjiang University),位于黑龙江省哈尔滨市,是黑龙江省人民政府和中华人民共和国教育部、国家国防科技工业局共建的省属综合性大学,黑龙江省“双一流”建设国内一流大学A类高校,入选国家卓越法律人才教育培养计划、中西部高校基础能力建设工程、特色重点学科项目、国家建设高水平大学公派研究生项目、中国政府奖学金来华留学生接收院校、全国深化创新创业教育改革示范高校、教育部来华留学示范基地,是世界翻译教育联盟、中俄新闻教育高校联盟、中俄综合性大学联盟、上海合作组织大学、“一带一路”智库合作联盟成员单位。
评价单位:“科创中国”黑龙江科技服务团 (黑龙江省科学技术协会)
评价时间:2023-11-06
综合评价
技术前景广阔,具备技术成果转移转化要求。
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