科创中国
一种支撑梁的MEMS微加热器及其制造方法
发布时间: 2023-07-06
基本信息
合作方式：
技术转让
成果类型：
发明专利
行业领域：
生物与新医药技术
成果介绍
基于MEMS技术制备的微加热器是常用的加热平台，用于加热平台上的材料或者元件达到一定的温度条件。由于MEMS微加热器具有功耗低、响应速度快、体积小、可批量生产、易集成等优势，现已广泛用于微气体传感器、微驱动器、微加速度计和微红外光源等
成果亮点
现有技术中，为了提高加热器的响应速度，降低热损耗，普遍采用悬浮薄膜结构，悬浮薄膜通过支撑悬臂连接在支撑衬底上。因此该结构的力学性能较差，悬浮的薄膜容易破裂，导致加热器的抗震动等性能较弱，限制了加热器的使用范围。在加热器的使用过程中会造成温度分布不均匀，从而使加热器内部的热应力较大，进一步加剧了薄膜的破裂，降低了加热器的使用寿命。
团队介绍
学校创建于1952年7月，原名东北林学院，是在浙江大学农学院森林系和东北农学院森林系基础上建立的，由国家林业部直属管理。1985年8月更名为东北林业大学。2000年2月，由国家林业局划归教育部直属管理。2005年10月，经国家发改委、财政部和教育部批准，成为国家“211工程”重点建设高校。2010年11月，教育部和国家林业局签署合作共建协议。2011年6月，成为国家“优势学科创新平台”项目重点建设高校。2012年3月，教育部与黑龙江省人民政府签署合作共建协议。2017年9月，经国务院批准列为“双一流”建设高校。2022年2月，入选国家第二轮“双一流”建设高校。
成果资料
产业化落地方案
成果综合评价报告
评价单位：“科创中国”黑龙江科技服务团 (黑龙江省科学技术协会) 评价时间：2023-11-07
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