科创中国
一种力/磁多功能传感器
发布时间: 2023-06-30
基本信息
合作方式：
技术转让
成果类型：
发明专利
行业领域：
科学研究和技术服务业
成果介绍
本发明公开了一种力/磁多功能传感器，该传感器包括用来检测外加磁场的第一悬臂梁1、悬臂梁顶端磁性材料3，和用来检测外加力的第二悬臂梁2、悬臂梁顶端硅质量块4，并由第一薄膜晶体管TFT1沟道等效电阻R1、第二薄膜晶体管TFT2沟道等效电阻R2、第三薄膜晶体管TFT3沟道等效电阻R3和第四薄膜晶体管TFT4沟道等效电阻R4构成第一惠斯通电桥，实现了磁场的检测；第五薄膜晶体管TFT1′沟道等效电阻R1′、第六薄膜晶体管TFT2′沟道等效电阻R2′、第七薄膜晶体管TFT3′沟道等效电阻R3′和第八薄膜晶体管TFT4′沟道等效电阻R4′构成第二惠斯通电桥，实现了力的检测；本发明提供的力/磁多功能传感器体积小，成本低，准确度高，稳定性好。
成果亮点
1、本发明在同一芯片上制作两个硅悬臂梁，可同时实现对力和磁场的检测，具有集成一体化特点；
2、本发明采用悬臂梁结构检测力/磁，提高了传感器的力/磁灵敏度；
3、本发明中分别采用四个薄膜晶体管沟道等效电阻构成两个开环惠斯通桥路。开环桥路方便测试桥路单个薄膜晶体管沟道等效电阻的阻值，同时薄膜晶体管具有自调零功能，可实现传感器零点漂移的调整，当传感器在无外加力或磁场的作用时，使得其输出电信号等于零，提高了传感器对外加力/磁检测的准确性；
4、该传感器是在高阻单晶硅上制作，体积小，成本低，稳定性好。
团队介绍
黑龙江大学（Heilongjiang University），位于黑龙江省哈尔滨市，是黑龙江省人民政府和中华人民共和国教育部、国家国防科技工业局共建的省属综合性大学，黑龙江省“双一流”建设国内一流大学A类高校，入选国家卓越法律人才教育培养计划、中西部高校基础能力建设工程、特色重点学科项目、国家建设高水平大学公派研究生项目、中国政府奖学金来华留学生接收院校、全国深化创新创业教育改革示范高校、教育部来华留学示范基地，是世界翻译教育联盟、中俄新闻教育高校联盟、中俄综合性大学联盟、上海合作组织大学、“一带一路”智库合作联盟成员单位。
成果资料
产业化落地方案
成果综合评价报告
评价单位：“科创中国”黑龙江科技服务团 (黑龙江省科学技术协会) 评价时间：2023-11-07
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