科创中国
一种金属有机化学气相沉积装置
发布时间: 2023-06-20
基本信息
合作方式：
技术转让
成果类型：
实用新型专利
行业领域：
科学研究和技术服务业
成果介绍
本实用新型公开了一种金属有机化学气相沉积装置，它涉及半导体外延生长设备技术领域；所述箱体的内底部安装有支撑轴，所述支撑轴的内上端安装有低速电机，所述低速电机的转轴上连接有安装板，所述安装板的上侧设置有衬底，所述安装板的两端均安装有风叶，所述箱体内部的上端安装有气体喷淋机构，所述气体喷淋机构上分别安装有进气管一与进气管二，所述进气管一与进气管二上均安装有控制阀门，所述箱体的左端安装有观察窗，所述排气管穿接在箱体的左侧；本实用新型便于实现快速混合与沉积，且气体混合均匀，操作简便，效率高，节省时间。
成果亮点
本实用新型的有益效果为：便于实现快速混合与沉积，且气体混合均匀，操作简便，效率高，节省时间。
团队介绍
黑龙江大学（Heilongjiang University），位于黑龙江省哈尔滨市，是黑龙江省人民政府和中华人民共和国教育部、国家国防科技工业局共建的省属综合性大学，黑龙江省“双一流”建设国内一流大学A类高校，入选国家卓越法律人才教育培养计划、中西部高校基础能力建设工程、特色重点学科项目、国家建设高水平大学公派研究生项目、中国政府奖学金来华留学生接收院校、全国深化创新创业教育改革示范高校、教育部来华留学示范基地，是世界翻译教育联盟、中俄新闻教育高校联盟、中俄综合性大学联盟、上海合作组织大学、“一带一路”智库合作联盟成员单位。
成果资料
产业化落地方案
成果综合评价报告
评价单位：“科创中国”黑龙江科技服务团 (黑龙江省科学技术协会) 评价时间：2023-11-03
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