一种高频多层膜声表面波谐振器

本发明请求保护一种高频多层膜声表面波谐振器，其包括了压电薄膜、金属电极、SiO2低声阻抗层、Pt高声阻抗层和Si基底；其中金属电极位于压电薄膜上，SiO2低声阻抗层和Pt高声阻抗层依次交替，共5层位于压电薄膜下，基底上。

本发明在压电薄膜，低声抗层和高声阻抗层组成的多层膜结构下，通过改进铌酸锂薄膜的厚度，SiO2低声阻抗层的厚度和Pt高声阻抗层的厚度，提高器件的性能。当λ＝***μm，铌酸锂薄膜的厚度为***λ(λ为叉指周期)，SiO2低声阻抗层的厚度为***λ，Pt高声阻抗层的厚度为***λ时，机电耦合系数等于***％，Q＝2483，FOM＝209，器件性能得到提高。

王巍，张迎，王方，滕洪菠，袁军