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稀土永磁材料物理气相沉积防护技术产业化项目
发布时间: 2023-06-14
基本信息
合作方式：
合作开发
成果类型：
新技术
行业领域：
新材料技术
成果介绍
针对用于新能源汽车、风力发电机、动力电机等高新技术产业对稀土永磁材料的需求，宁波材料所表面防护团队致力于开发稀土永磁材料的物理气相沉积防护技术。物理气相沉积技术是一种清洁环保的防护技术，所沉积的镀层与基体结合力优异。目前沉积装备是限制物理气相沉积技术大规模应用的主要因素。宁波材料所表面防护团队通过多年努力，开发出实验室、中试及产业化物理气相沉积设备，解决了磁体在真空中的三维翻转问题，大幅提高了镀层的防护性能。实现了从沉积技术到沉积装备的产业化应用。
成果亮点
1、设计出工业化生产的连续式磁控溅射设备，实现了磁体在真空中的三维翻转；
2、膜材和基体材料选择广泛，可以沉积Al、Ti、Cr、TiN、Al2O3等多种材料；
3、镀层厚度5-15um连续可控，同一批次产品镀层厚度均匀性优于电镀，无边角效应；
4、镀层结合力明显优于电镀，通过-50℃到+150℃温度交变冲击10次；镀层与磁体拉伸结合力在
20MPa以上；
5、镀层通过150小时饱和PCT试验，优于同等镀层厚度的电镀水平；
6、镀层能通过72小时盐雾试验；
7、处理过程对磁体性能没有损伤，磁能积同比下降<1%，矫顽力没有下降；
8、不产生废液，对环境无污染。
团队介绍
鄞州科技大市场是由鄞州区科技局主办的区级科技创新资源统筹服务平台，通过政府引导、市场运作、政策激励、模式创新、集成服务、精准匹配六项措施，致力于成为鄞州“科技成果转化组织者”，科技成果转移转化和技术对接为核心服务内容。
成果资料
产业化落地方案
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