科创中国
一种微压传感器及其制作工艺方法
发布时间: 2023-06-01
基本信息
合作方式：
技术转让
成果类型：
发明专利
行业领域：
高技术服务业
成果介绍
本发明公开了一种微压传感器及其制作工艺方法，所述微压传感器包括SOI衬底，在所述SOI衬底上设置有弹性元件和敏感元件，以实现对外加微压的测量；其中，弹性元件包括弹性硅膜和四个梯形梁结构，敏感元件为梯形梁结构上四个压敏电阻构成的惠斯通电桥结构。本发明通过微电子机械加工技术在SOI晶圆上制作弹性硅膜、四个梯形梁结构和四个压敏电阻，具有集成化和小型化的特点，构成的微压传感器能够实现对外加压力的检测且能实现微压测量。
成果亮点
(1)本发明所提供的微压传感器，在绝缘层硅(SOI)晶圆上实现弹性硅膜、等腰梯形梁和压敏电阻有效结合，具有集成化和小型化的特点，同时利用等腰梯形梁应力集中效应，完成对外加微压的检测，可实现在0～3kPa范围内压力的测量；
(2)本发明所提供的微压传感器，利用绝缘硅(SOI)晶圆器件层作为弹性硅膜，其厚度容易控制，能够使微压传感器具有较好的灵敏度一致性；
(3)本发明所提供的微压传感器的制作工艺方法，与现有硅工艺兼容性高，操作简单，条件易控，适于规模化生产。
团队介绍
黑龙江大学（Heilongjiang University），位于黑龙江省哈尔滨市，是黑龙江省人民政府和中华人民共和国教育部、国家国防科技工业局共建的省属综合性大学，黑龙江省“双一流”建设国内一流大学A类高校，入选国家卓越法律人才教育培养计划、中西部高校基础能力建设工程、特色重点学科项目、国家建设高水平大学公派研究生项目、中国政府奖学金来华留学生接收院校、全国深化创新创业教育改革示范高校、教育部来华留学示范基地，是世界翻译教育联盟、中俄新闻教育高校联盟、中俄综合性大学联盟、上海合作组织大学、“一带一路”智库合作联盟成员单位。
成果资料
产业化落地方案
成果综合评价报告
评价单位：“科创中国”黑龙江科技服务团 (黑龙江省科学技术协会) 评价时间：2023-11-10
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