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等离子表面处理装置及方法
发布时间: 2023-05-23
基本信息
合作方式：
技术咨询
成果类型：
发明专利
行业领域：
电子信息技术,微电子技术
成果介绍
本发明涉及一种等离子表面处理装置及方法。等离子表面处理装置，包括：箱体、以及电极板，电极板包括置于箱体内的间隔设置的正极板和负极板，正极板和负极板之间形成用于放置一层工件的工作位。或，包括：箱体、以及间隔设置在箱体内的电极板，两个相邻电极板的极性相反，且相邻电极板之间形成用于放置一层工件的工作位。等离子表面处理方法，包括以下步骤：将工件置于箱体内的正极板和负极板之间，且在正极板和负极板之间置于一层工件，工件距离两个相邻的正极板和负极板的距离大致相同；对箱体进行抽真空处理，并向箱体内加入反应气体；对正极板和负极板通电，使箱体内的气体发生电离。
成果亮点
等离子表面处理方法，包括以下步骤：将工件置于箱体内的正极板和负极板之间，且在正极板和负极板之间置于一层工件，工件距离两个相邻的正极板和负极板的距离大致相同；对箱体进行抽真空处理，并向箱体内加入反应气体；对正极板和负极板通电，使箱体内的气体发生电离。
团队介绍
广东省科学院佛山产业技术研究院有限公司成立于2018-10-26，法定代表人为肖仁俊，注册资本为5000万元人民币，统一社会信用代码为91440600MA52EG833Y，企业地址位于佛山市禅城区华宝南路13号（佛山国家火炬创新创业园）E座2楼1室（住所申报），所属行业为科技推广和应用服务业，经营范围包含：一般项目：工程和技术研究和试验发展；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；创业空间服务；信息技术咨询服务；以自有资金从事投资活动；创业投资（限投资未上市企业）；企业管理咨询；物业管理；机械设备租赁；非居住房地产租赁；科技中介服务。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。广东省科学院佛山产业技术研究院有限公司目前的经营状态为在营（开业）企业。
成果资料
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