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一种亚波长增透结构的制备装置及其方法
发布时间: 2023-05-22
基本信息
合作方式：
技术咨询
成果类型：
发明专利
行业领域：
高新技术改造传统产业,先进制造技术
成果介绍
一种亚波长增透结构的制备装置，其包括：计算机控制模块，激光器，光学传递组件，振镜组件，聚焦系统组件，以及加工平台；所述的光学传递组件、振镜组件、聚焦系统组件依次沿激光光路排布，由所述计算机控制模块控制激光器，并控制振镜组件和加工平台动作，在待加工件表面制备增透结构。该发明亚波长增透结构的制备装置的优点在于：设备简单，工艺简单，无需制备掩膜版，可精确控制亚波长结构尺寸，加工精度小于特征尺寸，制备效率高，一步完成，激光光源可选择效率高、成本低。
成果亮点
该发明亚波长增透结构的制备装置的优点在于：设备简单，工艺简单，无需制备掩膜版，可精确控制亚波长结构尺寸，加工精度小于特征尺寸，制备效率高，一步完成，激光光源可选择效率高、成本低。
团队介绍
广东省科学院佛山产业技术研究院有限公司成立于2018-10-26，法定代表人为肖仁俊，注册资本为5000万元人民币，统一社会信用代码为91440600MA52EG833Y，企业地址位于佛山市禅城区华宝南路13号（佛山国家火炬创新创业园）E座2楼1室（住所申报），所属行业为科技推广和应用服务业，经营范围包含：一般项目：工程和技术研究和试验发展；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；创业空间服务；信息技术咨询服务；以自有资金从事投资活动；创业投资（限投资未上市企业）；企业管理咨询；物业管理；机械设备租赁；非居住房地产租赁；科技中介服务。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。广东省科学院佛山产业技术研究院有限公司目前的经营状态为在营（开业）企业。
成果资料
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