科创中国
晶圆激光划片与裂片方法及系统
发布时间: 2023-05-19
基本信息
合作方式：
技术咨询
成果类型：
发明专利
行业领域：
高新技术改造传统产业,工业生产过程控制系统
成果介绍
本发明实施例公开了一种晶圆激光划片与裂片方法及系统，所述系统包括机架和工控机，机架上设有分别连接于工控机的激光器、涂覆铝纳米颗粒的涂覆装置及CCD定位装置及用于承载晶圆的加工平台。采用上述设备对玻璃、蓝宝石等晶圆进行加工，可以实现高质量、高效率的划线与裂片工艺，且可以加工任意形状图形。设备及工艺简单，可以以流水线的形式完成晶圆的划片与裂片工艺。本发明实施例具有通用性强、加工质量高的技术效果，尤其适用于圆形等有弧度的晶圆的加工。
成果亮点
采用上述设备对玻璃、蓝宝石等晶圆进行加工，可以实现高质量、高效率的划线与裂片工艺，且可以加工任意形状图形。设备及工艺简单，可以以流水线的形式完成晶圆的划片与裂片工艺。本发明实施例具有通用性强、加工质量高的技术效果，尤其适用于圆形等有弧度的晶圆的加工。
团队介绍
广东省科学院佛山产业技术研究院有限公司成立于2018-10-26，法定代表人为肖仁俊，注册资本为5000万元人民币，统一社会信用代码为91440600MA52EG833Y，企业地址位于佛山市禅城区华宝南路13号（佛山国家火炬创新创业园）E座2楼1室（住所申报），所属行业为科技推广和应用服务业，经营范围包含：一般项目：工程和技术研究和试验发展；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；创业空间服务；信息技术咨询服务；以自有资金从事投资活动；创业投资（限投资未上市企业）；企业管理咨询；物业管理；机械设备租赁；非居住房地产租赁；科技中介服务。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。广东省科学院佛山产业技术研究院有限公司目前的经营状态为在营（开业）企业。
成果资料
下载app