科创中国
利用多光束激光干涉制作衍射光学器件的方法
发布时间: 2023-05-18
基本信息
合作方式：
技术咨询
成果类型：
发明专利
行业领域：
高新技术改造传统产业,高性能、智能化仪器仪表
成果介绍
本发明提供了一种利用多光束激光干涉制作衍射光学器件的方法，包括，将光刻胶涂覆在透明的晶圆材料表面；使用多束激光在光刻胶表面或内部特定位置产生干涉点或条纹，进而在干涉点或条纹处产生光刻胶的聚合、固化，完成所需的固化图案；使用有机溶剂将未固化的光刻胶洗去；通过化学或等离子体刻蚀的方式，在晶圆材料表面进行刻蚀，以将没有固化光刻胶覆盖的晶圆材料表面刻蚀；将残余的固化光刻胶洗去，得到衍射光学器件；对衍射光学器件进行分切，得到单个衍射光学器件。本发明制作的衍射光学器件的分辨率小于1um，相对于常规的激光加工方式，使用该方法来加工的衍射光学器件加工速度更快，具有高度的空间选择性；同时该方法适用于各种不同的晶圆材料的加工。
成果亮点
本发明制作的衍射光学器件的分辨率小于1um，相对于常规的激光加工方式，使用该方法来加工的衍射光学器件加工速度更快，具有高度的空间选择性；同时该方法适用于各种不同的晶圆材料的加工。
团队介绍
广东省科学院佛山产业技术研究院有限公司成立于2018-10-26，法定代表人为肖仁俊，注册资本为5000万元人民币，统一社会信用代码为91440600MA52EG833Y，企业地址位于佛山市禅城区华宝南路13号（佛山国家火炬创新创业园）E座2楼1室（住所申报），所属行业为科技推广和应用服务业，经营范围包含：一般项目：工程和技术研究和试验发展；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；创业空间服务；信息技术咨询服务；以自有资金从事投资活动；创业投资（限投资未上市企业）；企业管理咨询；物业管理；机械设备租赁；非居住房地产租赁；科技中介服务。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。广东省科学院佛山产业技术研究院有限公司目前的经营状态为在营（开业）企业。
成果资料
下载app