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基于空芯光子晶体光纤的超连续谱激光光源及检测系统
发布时间: 2023-05-18
基本信息
合作方式：
技术咨询
成果类型：
发明专利
行业领域：
新一代信息技术产业,电子核心产业
成果介绍
本发明实施例公开了一种基于空芯光子晶体光纤的超连续谱激光光源及检测系统，其包括飞秒激光器、泵浦耦合装置以及空芯光子晶体光纤；所述飞秒激光器用于生成具有飞秒脉冲的初始激光；所述泵浦耦合装置用于接收所述初始激光，并将所述初始激光耦合入所述空芯光子晶体光纤内；所述空芯光子晶体光纤用于对耦合进入其中的初始激光进行增益，以得到目标光束。本发明实施例通过产生稳定的、宽光谱的、高功率和高亮度的激光，且所生成的激光具有优异的单模光束质量和良好的方向性，以及可以与激光相媲美的亮度和空间相干性，可以满足集成电路制造工艺中缺陷特征尺寸越来越小以及高检测效率的要求。
成果亮点
本发明实施例通过产生稳定的、宽光谱的、高功率和高亮度的激光，且所生成的激光具有优异的单模光束质量和良好的方向性，以及可以与激光相媲美的亮度和空间相干性，可以满足集成电路制造工艺中缺陷特征尺寸越来越小以及高检测效率的要求。
团队介绍
广东省科学院佛山产业技术研究院有限公司成立于2018-10-26，法定代表人为肖仁俊，注册资本为5000万元人民币，统一社会信用代码为91440600MA52EG833Y，企业地址位于佛山市禅城区华宝南路13号（佛山国家火炬创新创业园）E座2楼1室（住所申报），所属行业为科技推广和应用服务业，经营范围包含：一般项目：工程和技术研究和试验发展；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；创业空间服务；信息技术咨询服务；以自有资金从事投资活动；创业投资（限投资未上市企业）；企业管理咨询；物业管理；机械设备租赁；非居住房地产租赁；科技中介服务。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。广东省科学院佛山产业技术研究院有限公司目前的经营状态为在营（开业）企业。
成果资料
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