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铜铟镓硒薄膜太阳能电池制备装置
发布时间: 2023-05-12
基本信息
合作方式：
技术服务
成果类型：
发明专利
行业领域：
电子信息技术
成果介绍
一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池制备装置，包括进样室，与进样室真空连接的铜铟镓硒蒸发室和样品运转室，与样品运转室真空连接的钼溅射室、激光光刻室、铜铟镓溅射室、硒化室及氧化锌溅射室，上述各室之间安装有隔离阀板。铜铟镓硒薄膜太阳能电池制备装置还包括与样品运转室相连的过渡室和与过渡室相连且处于常压下的电化学反应室。上述铜铟镓硒薄膜太阳能电池制备装置将整个铜铟镓硒太阳能电池制备模块整合到一起，实现玻璃衬底进样，太阳能电池产品出样的流水线作业。由于绝大部分制备室之间真空相连，可减少或降低样品制备过程中暴露在空气中引起的氧化和杂质污染问题，提高产品质量。
成果亮点
一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池制备装置，其特征在于：包括进样室，与该进样室真空连接的铜铟镓硒蒸发室和样品运转室，与该样品运转室真空连接的钼溅射室、激光光刻室、铜铟镓溅射室、硒化室及氧化锌溅射室，该铜铟镓硒薄膜太阳能电池制备装置还包括与该样品运转室相连的过渡室和与该过渡室相连且处于常压下的电化学反应室，上述各室之间安装有隔离阀板。
团队介绍
中国科学院深圳先进技术研究院提升了粤港地区及我国先进制造业和现代服务业的自主创新能力，推动我国自主知识产权新工业的建立，成为国际一流的工业研究院。 深圳先进院目前已初步构建了以科研为主的集科研、教育、产业、资本为一体的微型协同创新生态系统，由九个研究平台，国科大深圳先进技术学院，多个特色产业育成基地、多支产业发展基金、多个具有独立法人资质的新型专业科研机构等组成。开展先进技术研究，促进科技发展。信息、电子、通讯技术研究新材料、新能源技术研究高性能计算、自动化、精密机械研究生物医学与医疗仪器研究相关学历教育、博士后培养与学术交流。
成果资料
产业化落地方案
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