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真空镀膜生产线

发布时间: 2023-04-11

基本信息

合作方式： 技术咨询
成果类型： 发明专利
行业领域：
高新技术改造传统产业,工业生产过程控制系统
成果介绍
本发明涉及真空镀膜技术领域，具体涉及一种真空镀膜生产线，包括：工作室、镀膜室罐体、控制系统以及真空机组；所述镀膜室罐体在所述工作室内的一侧设置；所述镀膜室罐体内设置若干组溅射靶系统；所述工作室内与所述镀膜室罐体相对的一侧还设置有控制系统，包括控制柜、电源柜等；所述控制柜分别与所述溅射靶系统、电源柜连接，用于分别向与所述溅射靶系统、电源柜发送控制信号及获取反馈信号；所述真空机组通过抽气管道与所述镀膜室罐体连接，用于为所述镀膜室罐体形成真空状态。本发明提供的真空镀膜生产线，各溅射靶系统独立设置，保证沉积效果。并且，通过设置多个溅射靶系统，可以适应中少批量多品种的生产需要，具有减少镀膜设备投资的有益效果。
成果亮点
所述真空机组通过抽气管道与所述镀膜室罐体连接，用于为所述镀膜室罐体形成真空状态。本发明提供的真空镀膜生产线，各溅射靶系统独立设置，保证沉积效果。并且，通过设置多个溅射靶系统，可以适应中少批量多品种的生产需要，具有减少镀膜设备投资的有益效果。
团队介绍
广东省科学院佛山产业技术研究院有限公司成立于2018-10-26，法定代表人为肖仁俊，注册资本为5000万元人民币，统一社会信用代码为91440600MA52EG833Y，企业地址位于佛山市禅城区华宝南路13号（佛山国家火炬创新创业园）E座2楼1室（住所申报），所属行业为科技推广和应用服务业，经营范围包含：一般项目:工程和技术研究和试验发展;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;创业空间服务;信息技术咨询服务;以自有资金从事投资活动;创业投资（限投资未上市企业）;企业管理咨询;物业管理;机械设备租赁;非居住房地产租赁;科技中介服务。（除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动）。广东省科学院佛山产业技术研究院有限公司目前的经营状态为在营（开业）企业。
成果资料