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一种半导体生产用镀膜设备
发布时间: 2023-04-03
基本信息
合作方式：
技术咨询
成果类型：
发明专利
行业领域：
制造业,橡胶和塑料制品业
成果介绍
本发明公开了一种半导体生产用镀膜设备，涉及电子专用设备仪器技术领域，包括固定块，固定块的底端安装有固定底座，固定块的顶端安装有环形滑动导轨，环形滑动导轨的顶端安装有承重滑座，承重滑座的顶端安装有连接柱，连接柱的一侧开设有滑动竖轨，环形滑动导轨的顶端位于连接柱的一侧连接有密封性防尘罩。本发明设置防护盖、转动盘、转动喷枪和散热孔，在使用时，需要加工的半导体放置在加工台上，让后将防护盖合闭，防护盖能够有效的防止加工时产生的雾化颗粒发散，增加镀膜时的安全性，通过转动盘连接的转动喷枪，转动盘在转动时带动转动喷枪对加工台上的半导体进行360°喷射镀膜，便于对半导体进行有效而均匀的镀膜。
成果亮点
防护盖能够有效的防止加工时产生的雾化颗粒发散，增加镀膜时的安全性，通过转动盘连接的转动喷枪，转动盘在转动时带动转动喷枪对加工台上的半导体进行360°喷射镀膜，便于对半导体进行有效而均匀的镀膜。
团队介绍
广东省科学院佛山产业技术研究院有限公司成立于2018-10-26，法定代表人为肖仁俊，注册资本为5000万元人民币，统一社会信用代码为91440600MA52EG833Y，企业地址位于佛山市禅城区华宝南路13号（佛山国家火炬创新创业园）E座2楼1室（住所申报），所属行业为科技推广和应用服务业，经营范围包含：一般项目:工程和技术研究和试验发展;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;创业空间服务;信息技术咨询服务;以自有资金从事投资活动;创业投资（限投资未上市企业）;企业管理咨询;物业管理;机械设备租赁;非居住房地产租赁;科技中介服务。（除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动）。广东省科学院佛山产业技术研究院有限公司目前的经营状态为在营（开业）企业。
成果资料
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