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多相低介电常数材料层的制造方法
发布时间: 2023-03-29
基本信息
合作方式：
技术咨询
成果类型：
发明专利
行业领域：
新材料技术,高分子材料
成果介绍
本发明公开一种多相低介电常数材料层的制造方法，包括以下步骤：在真空条件下先于硅基底上以电子束蒸镀方式蒸镀一层80nm厚的铝薄膜；再蒸镀一层5nm厚的镍薄膜形成具有金属薄膜的硅片；通过等离子体增强化学气相沉积方法在金属薄膜的硅片上沉积一层碳纳米管层形成碳纳米管层基材层；将八甲基环四硅氧烷、环己烷混合均匀并注入耐压不锈钢釜内，将八甲基环四硅氧烷、环己烷带入炉体内，八甲基环四硅氧烷、环己烷、鼓泡气体在等离子条件下在基底表面沉积一薄膜层。
成果亮点
本发明使得薄膜的成型强度较高，性能均一，克服了一般材料机械强度差，局部容易塌陷，各区域性能迥异的缺点。
团队介绍
广东省科学院佛山产业技术研究院有限公司成立于2018-10-26，法定代表人为肖仁俊，注册资本为5000万元人民币，统一社会信用代码为91440600MA52EG833Y，企业地址位于佛山市禅城区华宝南路13号（佛山国家火炬创新创业园）E座2楼1室（住所申报），所属行业为科技推广和应用服务业，经营范围包含：一般项目:工程和技术研究和试验发展;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;创业空间服务;信息技术咨询服务;以自有资金从事投资活动;创业投资（限投资未上市企业）;企业管理咨询;物业管理;机械设备租赁;非居住房地产租赁;科技中介服务。（除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动）。广东省科学院佛山产业技术研究院有限公司目前的经营状态为在营（开业）企业。
成果资料
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