成果介绍
一种用于半导体器件生产的自动全加热装置,属于半导体器件生产设备技术领域。本实用新型要解决的技术问题是在芯片与支架共晶粘合工序中,对于每排芯片单元数量大的支架,其变形量要小,以满足后工序生产要求。
成果亮点
加热炉体上部左右两侧做成悬空形状,其中上部纵向全嵌入至少二根加热块,在加热炉体上部从左至右形成预热区、加热区、散热区。
团队介绍
蓝箭电子是一家半导体器件研发制造商,产品系列有封装的双极型晶体管、场效应晶体管、集成电路(IC)、LED及LED照明灯具等,应用于家用电器、电源、IT数码、通信、新能源、仪器仪表、显示屏等领域。
成果资料