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电阻式热蒸发制备铁磁性材料Fe3Si薄膜的工艺

发布时间: 2022-12-15

来源: 试点城市(园区)

基本信息

合作方式: 技术转让
成果类型: 发明专利
行业领域:
新材料产业
成果介绍
本发明公开了一种电阻式热蒸发制备铁磁性材料Fe3Si薄膜的工艺,其特征在于:它包括下述步骤:第一步骤,选取耐高温石英片和单晶Si片作衬底,清洗吹干;第二步骤,将铁颗粒和硅颗粒按不同配比进行备料;第三步骤,按上述步骤得到的不同配比镀料,在衬底上蒸镀一层Fe‑Si混合薄膜;第四步骤,将上述步骤得到的样品放置于高真空热处理炉中800~900℃退火2小时获得Fe‑Si化合物中的金属相Fe3Si铁磁性薄膜。
成果亮点
本发明提供了一种新的Fe3Si 铁磁性薄膜的制备工艺,以克服现有技术存在的实验条件苛刻,成本较高,难于工业化生产等缺点。与现有技术相比,本发明采用的电阻式热蒸发方法制备的Fe3Si铁磁性薄膜平整、致密、均匀,工艺参数容易控制,镀膜效率高,在工艺复杂性,成本和规模化生产上都有着突出优越性,易实现工业化推广,在自旋电子器件领域具有广阔的应用前景。
团队介绍
团队由贵州各高校师生组成固定团体,目前约500人,下设综合部、自科项目与平台管理部、社科项目与平台管理部、成果与知识产权管理部。成果与知识产权管理部:1.负责收审、查验、评定、核算的科研成果积分和奖励。2.负责对外产学研合作和成果转移转化等工作。3.负责科研成果汇编及数据信息的保密管理、存档。团队重管理、讲效率,团队纪律严格、明确责任、不懈努力、开拓进取,为增强团队每一个成员的的创新能力,团队定期开展研讨交流会,在研讨交流中拓宽成员思路,在团建活动中凝聚团队力量。
成果资料