科创中国
结合镀膜技术的游标增敏光纤气压传感器及其制备方法
发布时间: 2022-12-09
基本信息
合作方式：
技术服务
成果类型：
新技术
行业领域：
新一代信息技术产业
成果介绍
结合镀膜技术的游标增敏光纤气压传感器及其制备方法，本发明涉及一种光纤气压传感器及其制备方法。本发明结合镀膜技术的游标增敏光纤气压传感器，包括宽带光源、光谱分析仪、3‑dB耦合器、微腔FPI‑1和微腔FPI‑2。制备方法：A、制备微腔FPI‑1；B、制备微腔FPI‑2；C、将微腔FPI‑1与微腔FPI‑2并联，分别通过光纤与3dB耦合器的两个端口连接，再将宽带光源的输出端和光谱分析仪的输入端分别通过光纤与3dB耦合器一端口连接。本发明结合镀膜技术的游标增敏光纤气压传感器的灵敏度为单个空气腔光纤气压传感器灵敏度的***倍，气压检测的灵敏度大幅度提升。
成果亮点
光纤气压传感器由于具有紧凑、抗干扰和高精度等优点，已广泛应用于自动化生产、航空航天、军事和医疗诊断领域。各种光纤传感器，例如长周期光纤光栅、光纤布拉格光栅、马赫-曾德干涉仪和法布里-珀罗干涉仪(FPI)已被开发用于测量气体压强，其中FPI因其制造灵活、操作简单、组合方便等优点而非常有前景。
光纤FP腔传感器具有灵敏度高、尺寸小、结构简单、响应快、抗电磁干扰等优点，受到了各行各业的广泛关注。为了改善单个封闭腔光纤气压传感器气压灵敏度不高的问题，结合镀膜技术设计制备了一种游标增敏的并联F-P腔光纤气压传感器。
FPI传感器测量气压的机理是通过观察光纤折射率或F-P腔长的变化来获得气压变化趋势。但现有封闭腔光纤气压传感器存在气压灵敏度不高的缺陷。
团队介绍
黑龙江大学（Heilongjiang University），位于黑龙江省哈尔滨市，是黑龙江省人民政府和中华人民共和国教育部、国家国防科技工业局共建的省属综合性大学，黑龙江省“双一流”建设国内一流大学A类高校，入选国家卓越法律人才教育培养计划、中西部高校基础能力建设工程、特色重点学科项目、国家建设高水平大学公派研究生项目、中国政府奖学金来华留学生接收院校、全国深化创新创业教育改革示范高校、教育部来华留学示范基地，是世界翻译教育联盟、中俄新闻教育高校联盟、中俄综合性大学联盟、上海合作组织大学、“一带一路”智库合作联盟成员单位
成果资料
产业化落地方案
成果综合评价报告
评价单位：“科创中国”黑龙江科技服务团 (黑龙江省科学技术协会) 评价时间：2023-02-24
黄剑华
哈尔滨工业大学
教授
综合评价
压强从0增加到1.0MPa的叠加光谱和包络曲线，每0.1MPa记录一次光谱，可以看出随着压强的增加包络光谱发生了蓝移拟合了位于1554nm左右的包络谷值，得到本实施例结合镀膜技术的游标增敏光纤气压传感器的气压灵敏度为-88.94nm/MPa，线性度为99.5％，以0.1MPa的间隔点再从1.0MPa降低至0MPa，得到线性度、灵敏度基本一致，重复性很好，与对照组比较，气压灵敏度放大了22.98倍。
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