科创中国
光电子砷化镓外延片-垂直共振腔面发射型激光器结构材料
发布时间: 2022-11-30
基本信息
合作方式：
技术许可
成果类型：
发明专利
行业领域：
电子信息技术,新材料技术,新一代信息技术产业,高端装备制造产业,新材料产业
成果介绍
中科芯电VCSEL 等产品的主要指标达到国际水平。以 6 英寸PHEMT 为例，中科芯电在电子迁移率、二位电子气浓度、外延材料不均匀性、表面缺点密度等核心指标，均达到国际同类产品指标水平。
现拥有多条美国Veeco公司的GEN2000、GEN200大型生产型分子束外延设备工艺线,
包括全套的国际分析检测设备。建有2000多平方米的配套厂房,其中包括百级超净半导体和以及相关完备的无尘
生产车间的配套设施。并通过引进国外大型分子束外延(MBE)量产化设备,实现产品规模化生产。
成果亮点
有别于LED (发光二极管)和LD(Laser Diode,激光二极管)等其他光源，具有体积小圆形输出光斑、单纵模输出、阈值电流小价格低廉、易集成为大面积阵列等优点,广泛应用于光通信、光瓶连、光存储等领域。
在精确度、小型化、低功耗、可靠性等方面占优的情况下，以VCSEL激光器为核心关键元器件的3D Sensing摄像头,会大量使用到手机等消费类电子产品当中去。
VCSEL本质上是一种半导体激光器，激光器是用来发射激光的装置,而半导体激光器则是以半导体材料为工作物质发射激光的器件，根据激光芯片的结构，半导体激光器可分为边发射激光器(EEL) 和垂直腔面发射激光器. (VCSEL) 。
中科芯电产品包括射频用化合物半导体PHEMT、HEMT以及光电子用VCSEL等产品。PHEMT、 VCSEL 等产品的主要指标达到国际一流水平。以6英寸PHEMT为例，中科芯电在电子迁移率、二位电子气浓度、外延材料不均匀性、表面缺点密度等核心指标，均达到或优于国际同类产品指标水平。
团队介绍
中科芯电半导体科技（北京）有限公司于2014年10月成立，是专业生产砷化镓为主的化合物半导体外延微材料的高端科技企业，包括微电子与光电子芯片材料研发并大规模生产。公司于国内建成具有自主知识产权的砷化镓分子束外延（MBE）大规模生产基地和正在扩建的MOCVD产线，未来实现年产50万片以上的目标。公司已经通过ISO9001：2015，ISO14001，北京市高新企业，中关村高新技术企业等相关认证。
成果资料
产业化落地方案
成果综合评价报告
评价单位：- (-) 评价时间：2023-10-19
胡荣杰
广东博士创新发展促进会
战略研究主任
综合评价
该科技成果是一种半导体激光器，激光器是用来发射激光的装置，而半导体激光器则是以半导体材料为工作物质发射激光的器件，根据激光芯片的结构，半导体激光器可分为边发射激光器(EEL) 和垂直腔面发射激光器(VCSEL)。该项目成果的思路方向很好，未来市场空间广阔，符合当前政策要求，转化成熟度很高，值得支持推广。
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