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一种带防液滴喷溅隔板的热蒸发装置
发布时间: 2022-11-15
基本信息
合作方式：
技术服务
成果类型：
发明专利
行业领域：
高新技术改造传统产业,先进制造技术
成果介绍
一种带防液滴喷溅隔板的热蒸发装置，包括：蒸发材料；坩埚，所述坩埚容纳待加热的所述蒸发材料；喷管，所述喷管与坩埚的顶端端口相通；至少两个隔板，所述隔板为板状结构，且通过去除材料形成允许蒸汽通过的通孔；所述不同隔板沿竖直方向间隔放置在坩埚内壁，且位于蒸发材料上方，所述不同隔板的通孔在水平面的投影不发生重叠。在热蒸发镀膜工艺中，多个具有通孔的隔板可顺利通过蒸气，但由于每个隔板在水平方向的投影不重叠，因而阻挡大部分喷溅液滴，有效减少喷溅液滴到达镀膜表面，提高镀膜材料的厚度均匀性和化学组分一致性，提高镀膜工艺的良品率。
成果亮点
1.一种带防液滴喷溅隔板的热蒸发装置，其特征在于：包括：蒸发材料；坩埚，所述坩埚容纳待加热的所述蒸发材料；喷管，所述喷管与坩埚的顶端端口相通；至少两个隔板，所述隔板为板状结构，且通过去除材料形成允许蒸汽通过的通孔；不同所述隔板沿竖直方向间隔放置在坩埚内壁，且位于蒸发材料上方，所述不同隔板的通孔在水平面的投影不发生重叠。
2 .如权利要求1所述的装置，其特征在于：所述隔板的外壁与所述坩埚内壁紧密贴合接触且形状相同。
3 .如权利要求1所述的装置，其特征在于：所述不同隔板之间设置隔板间隔装置，所述隔板间隔装置为环状结构，且外壁与所述坩埚内壁紧密贴合接触且形状相同。
团队介绍
中国科学院深圳先进技术研究院提升了粤港地区及我国先进制造业和现代服务业的自主创新能力，推动我国自主知识产权新工业的建立，成为国际一流的工业研究院。 深圳先进院目前已初步构建了以科研为主的集科研、教育、产业、资本为一体的微型协同创新生态系统，由九个研究平台，国科大深圳先进技术学院，多个特色产业育成基地、多支产业发展基金、多个具有独立法人资质的新型专业科研机构等组成。开展先进技术研究，促进科技发展。信息、电子、通讯技术研究新材料、新能源技术研究高性能计算、自动化、精密机械研究生物医学与医疗仪器研究相关学历教育、博士后培养与学术交流。
成果资料
产业化落地方案
成果综合评价报告
评价单位：- (-) 评价时间：2022-12-30
吴正斌
天津中科先进技术产业有限公司
总经理
综合评价
这个企业已经有一定的基础，建议与相关学会组织搭建平台，请学会以及研究所、大学和相关企业参与，可能会攻克难关，会对我们国家甚至世界所存在问题提出解决的措施并做出贡献，前途可期。
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