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Micro LED 晶圆级巨量检测系统 α-INSPEC M1000e
发布时间: 2022-11-07
基本信息
合作方式：
技术许可
成果类型：
发明专利
行业领域：
电子信息技术,高技术服务业,新一代信息技术产业,高端装备制造产业,新型电子元器件,微电子技术,电子核心产业
成果介绍
Micro LED晶圆级巨量检测系统α-INSPEC M1000e，该系统可以用于Micro LED晶圆级工艺制程中的发光性能全检，国内首套自主研发并突破Micro LED芯片巨量检测技术的系统。
壹倍科技基于半导体材料的光谱和光学分析技术，自主开发了高精度显微成像系统，并结合巨量图像及光谱数据采集分析技术，可对Micro LED晶圆进行非接触检测、无损检测；其最大的优势是检测速度非常快，如整张6英寸Micro LED晶圆可以在10min内检测完成，比传统接触式方案快了300倍以上。此外该技术还可以检测材料亚表面或内部的晶体学缺陷，这是传统的外观AOI表面检测所无法做到的。
标准的Micro LED显示屏的晶粒尺寸要在50μm以下，像素点间距在***之下，这也决定Micro LED显示屏只有在超大尺寸时才能显示出其细腻的画质，推动了Micro LED的C端化。
成果亮点
国内首套巨量检测系统 α-INSPEC M1000e，基于半导体材料的光谱和光学分析技术，自主开发了高精度显微成像系统，并结合巨量图像及光谱数据采集分析技术，可对Micro LED晶圆进行非接触检测、无损检测，通过完全自主研发的光学技术，实现非接触式、无损、超快速的检测与分析，其最大的优势是检测速度非常快，比传统接触式方案快了300倍以上。
能够量测芯片的发光波长、半高宽以及发光强度等详细参数，实现对失效、异常芯片的高效精准检出。
壹倍科技在分辨率、重复性和产能等综合性能上具备优势，价格更低，且能提供更好的本地服务和支持。市面上现有传统检测设备主要采用电致发光（EL）检测技术，通过探针接触芯片并通电后进行检测，有着检测速度慢、易损坏发光芯片、且可检尺寸受限的问题。
团队介绍
深圳市壹倍科技有限公司是一家专注于半导体晶圆级检测设备的供应商，在2020年3月正式成立于深圳市宝安区。公司创始团队由多位海外留学博士组成，并荣获深圳市海外高层次人才，宝安区高层次人才、省级创新创业团队成员等荣誉。同时团队在半导体材料、工艺器件及微纳光学领域深耕十余年，自主设计、开发过多套关键设备，具有丰富的研发与产业化经验。
围绕宽禁带半导体晶圆级检测方向，公司持续进行研发投入，依据自身技术积累，结合为客户不断解决实际问题的经验，逐步形成了独有的核心技术体系和自主知识产权布局。公司坚持以材料分析表征技术为基础，以光子光学检测技术和人工智能为核心，以微型LED显示、功率半导体领域为主线发展方向，提供定量化、标准化和智能化的检测工具，助力中国半导体产业发展的历史进程。
成果资料
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