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一种用于断口分析的扫描电镜万向转动样品台及扫描电镜
发布时间: 2022-10-19
基本信息
合作方式：
技术转让
成果类型：
发明专利
行业领域：
高端装备制造产业
成果介绍
本发明采用如下技术方案：
本发明的第一方面提供一种用于断口分析的扫描电镜万向转动样品台，其包括：
至少一个样品孔，所述样品孔内设置有第一转动辅，所述第一转动辅用于支撑断口样品，所述第一转动辅的底部设置有第一转动轴，第一转动辅可绕第一转动轴在水平面的预设角度范围内转动；所述第一转动轴固定在第二转动辅上，所述第二转动辅两端分别与一个第二转动轴对应相连，所述第二转动辅可绕两端的第二转动轴在预设角度范围内转动；两个第二转动轴分别与支架的两端相连，所述支架固定在样品孔内。
为一种实施方式，所述支架底部设置有支架固定轴，所述支架固定轴可拆卸连接在样品孔内。
作为一种实施方式，所述第一转动轴与第一驱动机构相连，所述第一驱动机构与微处理器相连。
作为一种实施方式，两个第二转动轴分别与两个同步的第二驱动机构对应相连，第二驱动机构与微处理器相连。
作为一种实施方式，第一转动辅可绕第一转动轴在水平面(-180°～180°)范围内转动。
作为一种实施方式，第二转动辅可绕两端的第二转动轴在(-90°～90°)范围内转动。
成果亮点
本发明的有益效果是：
本发明利用第一转动辅绕其底部的第一转动轴在水平面的预设角度范围内转动；第二转动辅绕其两端的第二转动轴在预设角度范围内转动，实现单个样品的转动而不影响不影响其他的样品，最终提高扫描电镜的分析效率。
团队介绍
山东省分析测试中心成立于1979年，隶属齐鲁工业大学（山东省科学院）。是一所以基础与应用基础研究为主的社会公益性现代分析测试科学研究机构。长期以来，中心秉承前沿、高端的创新理念，以服务山东经济社会发展为宗旨，向全社会提供公共技术服务，承担全省分析检测人员的专业培训和学术交流活动，是全省培养高层次人才教学实验研究基地。中心现有职工180余人，其中博士73名，硕士56人；拥有外聘院士3人、国家百千万人才工程人选专家2人，享受国务院政府特殊津贴专家2人，山东省泰山学者特聘专家5人，泰山学者青年专家4人、山东省有突出贡献的中青年专家3人，人员队伍实力雄厚。
成果资料
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