科创中国
水辅助激光高精密低损伤加工技术
发布时间: 2022-10-01
基本信息
合作方式：
合作开发
成果类型：
发明专利,实用新型专利
行业领域：
高新技术改造传统产业
成果介绍
采用水溶液辅助激光加工的方法，通过水射流辅助激光加工、液层下激光加工、超声水下激光加工、水导激光加工等，瞄准在微电子、能源、生物、医疗，航空等领域的典型硬脆材料和难加工材料的加工需求，围绕高熔点、高硬脆性、难加工材料低损伤激光加工方法展开理论研究，实现低损伤、高精密、高效率及绿色加工。
成果亮点
(1) 技术优势：水导激光中水束传导光束及其冷却、冲击效应，加工中具有热影响区小、熔渣及微裂纹少、无需实时调焦、切槽平行、深宽比大、无污染等优点。
(2) 竞争优势：在高精密、低损伤加工领域与超快激光加工形成市场竞争力，占据一定的市场份额，并提升加工装备的环境适应性及企业的EHS（Environment, Health, Safety）管理体系。
团队介绍
激光先进制造技术团队深耕激光低损伤高效率加工等领域，开展高熔点、硬脆性、高熔点差复合材料等难加工材料的低损伤高效率加工方法等研究方向开展基础研究、技术研发、成果转化和工程化应用。开发有水束导引激光、可调焦深的光束整形技术、水射流辅助激光加工、液层下激光加工、超声水下激光加工等相关产品，广泛应用于高熔点、高脆硬性、复合材料等难加工材料的大厚度、高深宽比、低损伤、高精密、高效率的切割、打孔、打标、雕刻等领域，正在交流探索为广州三义激光等单位开展水导激光、光束整形技术的定制化服务。
成果资料
产业化落地方案
成果综合评价报告
评价单位：“科创中国”绿色建材产业科技服务团 (中国空间科学学会) 评价时间：2022-10-19
李凯
中国科学院力学研究所
研究员
综合评价
该项技术成果为自主研发技术，创新性提出通过水溶液辅助激光加工的方法解决高熔点、高脆硬性、难加工（如碳纤维复合材料）等材料高精密、低损伤加工的问题。可对不同硬度、不同反射率的材料进行加工，如对晶圆、太阳能硅光板的划片、切割、划槽，飞机涡轮叶片气膜孔打孔等，技术应用市场发展空间大。
总体而言，该项科技成果技术成熟度高，符合国家环保政策要求，转化回报率高，值得推广。建议加强技术产品的加工精度研究，加大产业链的完善。
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