科创中国
基于LNOI（铌酸锂薄膜）材料的低插入损耗，低半波电压的电光调制器
发布时间: 2022-09-30
基本信息
合作方式：
技术服务
成果类型：
新技术
行业领域：
新材料技术
成果介绍
本技术合作针对现有的实际现状，通过研究铌酸锂波导薄膜化新结构，攻克铌酸锂薄膜波导制备过程中的关键技术，实现低插损铌酸锂薄膜波导的制备，获得该类型波导的各项关键电学性能指标，进一步设计和制作与该类型波导匹配的高频电学结构，最终研制出更小尺寸、更低功耗、性能更为稳定的基于铌酸锂薄膜平台的铌酸锂高频微型电光调制器，为下一代通信系统研发提供支撑。
成果亮点
1.利用薄膜化芯片，减小或去除行波电极与铌酸锂晶片之间二氧化硅缓冲层，可有效提高电光转换效率，与传统体材料平台上实现的调制器比较，可缩小器件40%或降低半波电压20%。
2.使用金-金键合方式绑定铌酸锂薄膜制作调制器芯片，从而可选择先制备铌酸锂薄膜，波导后期加工的工艺流程。相比国外已有报道的制作工艺，本项目采用的工艺流程更加科学合理，成本低，成品率高，易于大规模生产加工。
目前，已申请发明专利3项，发明专利授权1项，实用新型专利授权4项。
团队介绍
天津科技大学电子信息与自动化学院拥有“仪器科学与技术”和“控制科学与工程”2个一级学科硕士点及 “电子信息”专业硕士点。拥有自动化、电气工程及其自动化、电子信息工程、通信工程、测控技术与仪器、机器人工程6个本科专业。学院以学科建设为重点，以培养适应社会需求的人才为宗旨。自动化专业和电气工程及其自动化专业，旨在办出强、弱电结合，软、硬件结合的宽口径自动化类专业，使学生具有更广阔的发展空间；测控技术与仪器专业在信息的采集与智能化技术方面具有较强的学科与科研实力；以研究信息的传递为主的电子信息工程、通信工程、机器人工程专业是社会急需专业，引领着技术时代的需求方向。为培养学生的创新创业能力，学院建设有开放的电子创新实验室，指导学生参加全国大学生电子竞赛、“恩智浦”智能车大赛、“互联网+”等大学生竞赛，近三年在国家级、省级等各类竞赛中获奖200多项。
成果资料
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