HIT电池高透光率、电导率TCO导电薄膜的制备工艺开发

本项目从提升高效异质结电池转换效率，降低电池制造成本出发，采用RPD的制备方法，制备具有高透光率、高导电性能的TCO导电薄膜，实现低方阻电池工艺流程开发；在低掺杂的前提下，实现低方阻，进而降低功损，提高异质结电池的转换效率。并掌握其工艺开发的技术关键点和技术难点，为异质结电池的工业化应用提供技术储备。

提出适用于HIT异质结电池的高透光率电导率薄膜的种类，研究了氧氩比、靶材掺杂比等对ＩＷＯ透明导电薄膜性能的影响，优化了RPD法制备IWO透明导电薄膜的工艺方案和工艺参数；自主开发出TCO膜的电导率达到2800-7350 S/cm、透光率为85%-92%的IWO透明导电薄膜；申请专利5项、发表论文2篇。

青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司，卢刚、何凤琴、张敏、王冬冬、常纪鹏、杨超、李得银、陈丹、石慧君、杨勇洲、郑璐