过渡金属硼化物-金属复合靶材与镀膜设备

发布时间: 2022-09-19

来源: 试点城市（园区）

基本信息

合作方式：技术服务

成果类型：实用新型专利

行业领域：

制造业

成果介绍

本实用新型提供了一种过渡金属硼化物‑金属复合靶材与镀膜设备，涉及镀膜设备技术领域，该过渡金属硼化物‑金属复合靶材包括过渡金属硼化物基体和与所述过渡金属硼化物基体固定连接的金属件，所述过渡金属硼化物基体的工作面与所述金属件的工作面共表面，利用该过渡金属硼化物‑金属复合靶材能够缓解制备复合涂层时金属含量不易精确控制的技术问题。

成果亮点

本实用新型的第一目的在于提供一种过渡金属硼化物-金属复合靶材，以缓解现有技术中制备过渡金属硼化物-金属的复合涂层过程中，缓解过渡金属硼化物-金属复合涂层中金属含量不易精确控制的技术问题。本实用新型的第二目的在于提供一种镀膜设备。为了实现本实用新型的上述目的，特采用以下技术方案：一种过渡金属硼化物-金属复合靶材，包括过渡金属硼化物基体和与所述过渡金属硼化物基体固定连接的金属件，所述过渡金属硼化物基体的工作面与所述金属件的工作面共表面。进一步的，所述过渡金属硼化物基体上设有凹槽，所述金属件固定于所述凹槽内。

团队介绍

发明人:唐永炳;陈光海;蒋春磊联系方式:0755-86392458 中国科学院深圳先进技术研究院提升了粤港地区及我国先进制造业和现代服务业的自主创新能力，推动我国自主知识产权新工业的建立，成为国际一流的工业研究院。深圳先进院目前已初步构建了以科研为主的集科研、教育、产业、资本为一体的微型协同创新生态系统，由九个研究平台，国科大深圳先进技术学院，多个特色产业育成基地、多支产业发展基金、多个具有独立法人资质的新型专业科研机构等组成。开展先进技术研究，促进科技发展。信息、电子、通讯技术研究新材料、新能源技术研究高性能计算、自动化、精密机械研究生物医学与医疗仪器研究相关学历教育、博士后培养与学术交流。

成果资料

产业化落地方案

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成果综合评价报告

评价单位：- (-) 评价时间：2022-11-21

吴正斌

天津中科先进技术产业有限公司

总经理

综合评价

这个企业已经有一定的基础，建议与相关学会组织搭建平台，请学会以及研究所、大学和相关企业参与，可能会攻克难关，会对我们国家甚至世界所存在问题提出解决的措施并做出贡献，前途可期。

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