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硅薄膜太阳能电池的关键制备技术

发布时间: 2022-09-08

基本信息

合作方式： 技术转让
成果类型： 发明专利
行业领域：
新能源及节能技术,高效节能技术
成果介绍
本课题属武汉市科技攻关项目。本项目是针对目前我国面临的能源危机和环境保护的热门研究领域，深入研究在普通平板玻璃上制备a-Si、poly-Si薄膜太阳能电池。该项目的研究对发展新的环境协调型材料和生态建筑材料、保护环境和实现可持续发展具有重要意义。将有力地推动我国光伏产业的极大发展，有助于传统建筑材料结构调整与升级，光伏产业和社会的可持续发展。
成果亮点
本研究报告的其主要研究结果和创新点如下：（1）制备出满足工艺一致性和整体性要求的SnO2:F、ITO、ZnO:Al等透明导电氧化物薄膜。（2）利用磁控溅射镀膜设备沉积硅薄膜太阳能电池的本征层，其薄膜的沉积速率是常规PECVD法的10倍。（3）采用射频PECVD法在100～500Pa的沉积压力下沉积氢化纳米硅薄膜，晶化率达5~68%、沉积速率可达30nm/min。（4）采用金属铝诱导和电场辅助的金属铝诱导晶化的方法制备出poly-Si薄膜，实现了a-Si薄膜的快速晶化。（5）采用化学法制备金属诱导晶化多晶硅的Ni源，制备出金属诱导横向晶化多晶硅薄膜，多晶硅横向生长距离可达5mm。（6）在a-Si薄膜制备的基础上研究了pin型a-Si薄膜太阳能电池制备的工艺条件，成功地制备出pin型a-Si薄膜太阳电池原型器件，样品大小为40mm×40mm的硅薄膜太阳能电池效率达到10%，为进一步研制高性能a-Si薄膜太阳能电池打下了良好的基础。
团队介绍
科技成果展览展示及推广；开展生产力促进的技术转移转让、交易转化、咨询培训、交流推广、创业指导、信息服务全省技术转移与科技成果转化中介服务、人才培育等创新创业辅导培训技术市场推进服务工作开展省级以上科技成果评价、编撰成果公报、发布成果信息等服务工作河北省科技成果展示交易中心业务的统筹和推进促进区域间科研仪器等科技资源开放共享服务开展科技赛事、科学普及、会展会议承办工作和科技成果对接、合作及转化等活动的服务工作河北省科技大厦日常运维。
成果资料