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圆片规模双分子层石墨薄膜合成技术

发布时间: 2022-08-24

来源: 科技服务团

基本信息

合作方式： 技术转让
成果类型： 发明专利
行业领域：
新材料技术
成果介绍
单层和数层石墨烯是很被看好的后硅电子产品生产材料，这是因为石墨烯可以综合自下而上的纳米材料合成与自上而下的光刻制造结构。然而，由于单层石墨烯本质上属于半金属材料，所以要给石墨烯引进能带隙就需要仿造纳米厚度的石墨带，或者是使用特殊的基质。 相比之下，双层石墨烯带有一个由电场引起的带隙以及激子的结合能量，且两者均可以根据电场进行调节，这就为双层石墨烯的电子和光子学带来了新的可能性。到目前为止，多数的双层石墨烯样本是由石墨的机械剥落层制成，这样就将样本的尺寸限制在了微米的范围内，并且很难测量样本的尺寸。
成果亮点
这种方法中，多层石墨烯通过单独的CVD过程中的沉积产生，不需要多次生产单层石墨烯，然后再将这些石墨烯薄膜堆叠起来。拉曼光谱的空间分辨证明，双层覆盖量＞99%。双栅双层带隙电晶体的电气运输测量结果证明场致能隙的隙缝有至少98%的设备可以观察。通过这种手段制备的双层石墨薄膜就只受到合成仪器的限制，并且易于扩大，为圆片规模的石墨烯的电子和光子学带来了可能。 应用 石墨烯电子和光子学 优势 进程可以测量，适用于圆片规模的多层石墨烯薄膜合成 潜在改进器件性能，通过CVD工艺，使用高K栅介质实现
团队介绍
“河北省科技成果展示交易中心(以下简称展示交易中心),是省委、省政府实施创新驱动发展战略的重要举措。展示交易中心建筑面积1.2万平米,突出“展示、交易、转化、产业化”四大功能定位,构建了国际国内互联互通的线上科技成果展示交易平台和互补互动的线下科技成果展示服务网络,已成为河北省建设标准最高、华北地区规模最大、国内国际影响力凸显的创新成就宣传窗口、创新成果展示舞台、创新要素交易市场和成果转化产业化服务平台。
成果资料