科创中国
垂直结构固态光源技术产业化
发布时间: 2022-08-15
基本信息
合作方式：
技术转让
成果类型：
新技术
行业领域：
电子信息技术
成果介绍
本项目是基于垂直结构特种半导体照明芯片核心技术的大功率LED 产品。采 用更适合大电流密度驱动的独特外延技术，采用先进的晶元键合，激光剥离技术 将生长在不导电、不导热的蓝宝石衬底上的外延晶圆转移到导热、导电性优异的 金属衬底上,并配以光提取效率达到90%以上的超级出光结构，形成单颗最大 14mm2 的大尺寸芯片。
成果亮点
大功率垂直结构芯片工艺，其主要特点是将外延和蓝宝石衬底分离，键合到 另外一个导热性更好的衬底上，电极被置于芯片两侧，非出光面的衬底整面都可 以当做电极。垂直结构芯片结构克服了水平、倒装结构由于电流拥堵，散热不均 匀等一系列问题。在大功率 LED 芯片制备中，通过纳米空气腔结构，提高了光提 取效率。通过芯片键合和激光剥离工艺实现了 LED 芯片衬底转移，从而解决了大 功率 LED 的散热问题。本系列产品首先探索出大功率 LED 垂直结构芯片提高出光 效率、电光转换效率。研发采用 tracepro 和 DIALUX 等光学设计软件，使得光源 能够有效利用。结合不同的应用场景，制定出不同 LED 照明和消杀灯具，避免 了光源浪费，提高了光源利用效率，降低了生产成本。
团队介绍
西安交通大学国家技术转移中心始建于 1999 年 6 月，是代表西安交通大学 从事技术转移、成果转化、股权管理、产学研合作的综合服务机构。为探索技术 转移工作的市场化运作机制，学校同时成立了西安交大技术成果转移有限责任公 司， 中心与公司一体化运作。2001 年中心成为国家经贸委和国家教育部首批认 定的全国六家高校“国家技术转移中心”之一，2008 年中心被科技部认定为首 批“国家技术转移示范机构”。
成果资料
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