科创中国
高分辨半导体显示器件及装备
发布时间: 2022-08-11
基本信息
合作方式：
技术服务
成果类型：
新技术
行业领域：
电子信息技术,计算机及网络技术
成果介绍
高精细图案化技术是实现平板显示产业向高分辨率、大开口率、高性能特性、柔性显示等高新技术关键技术。结合本单位开发的柔性显示电子级PI材料及制备技术，已推广应用于柔性显示屏的开发，以及高分辨医用平板探测器研发。本项目研发出 200*200mm型高精细平板显示用光刻机，解决了对位Mark 图形算法、对位 Mark 机器识别、柔性 TFT 基板翘曲对位等关键技术难题，实现了曝光精度2um、套刻精度±***的技术能力，为高精细平板显示用光刻机装备开发奠定技术基础。
成果亮点
自主开发用于平板显示高分辨率柔性显示光刻工艺及装备，以及高分辨医用平板探测器工艺协同开发：（1）柔性基板光刻装备开发，解决柔性基板翘曲引入的对位误差、离焦等工艺缺陷；（2）柔性高分辨技术，基于平板显示高分辨率柔性显示光刻装备，开发高分辨、高对位精度图形化；（3）高分辨膜层技术，可开发特殊膜层下高分辨膜层工艺；（4）氧化物半导体层工艺开发与应用，提升平板探测的分辨率及探测精度。
团队介绍
本项目由上海某211高效研发，其中基于氧化物半导体技术的高分辨医用平板探测器，掌握了医用平板探测技术高分辨制备核心工艺与技术。上述技术分别于2016年、2020年获得上海市科学技术进步一等奖奖励。
成果资料
产业化落地方案
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