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一种浸没式光刻机的温度控制方法及装置

发布时间: 2022-07-22

基本信息

合作方式： 技术许可
成果类型： 发明专利
行业领域：
高端装备制造产业,制造业
成果介绍
本发明提供一种浸没式光刻机的温度控制方法及装置，包括：通过热交换器使得PCW与光刻机UPW进行换热，以及利用加热器对UPW加热，以对UPW升温，对UPW温度进行粗调节时，基于检测的三个温度值和UPW温度控制目标确定UPW温度的轨迹、PCW的流量控制模型以及加热器的功率控制模型；采用模糊规则自适应修正PCW的流量控制模型以及加热器的功率控制模型；将粗调节后的UPW经过远传管路，通入光刻机内部经过半导体制冷片调节后分为两路UPW注液，通过两个加热器分别对两路UPW注液加热；对UPW温度进行精调节时，制冷片的调节量由两路UPW注液两个加热器的功率、两路UPW注液流量以及两路UPW注液的温度设定值确定。本发明提高了光刻机的温度控制精度。
成果亮点
本发明提供一种浸没式光刻机的温度控制方法及装置，将观测得到的UPW和PCW扰动数据作为输入，经模糊规则转化为一阶惯性时滞控制模型的增益变化，以此来矫正预测控制中伺服阀-热交换器以及加热器控制的模型参数，实现双执行器控制的同时克服了PCW和UPW温度波动对粗调模块目标温度的影响，可以在小超调的情况下保证温控精度和稳定性和系统的鲁棒性。
团队介绍
李小平（Li Xiaoping，Research Fellow）1966年1月出生，博士，研究员，博士生导师，华中科技大学GET创新团队创始人，国家科技重大专项“极大规模集成电路装备及成套工艺”总体组专家。作为第一负责人承担国家和省市政府资助、企业委托等项目30余项。获得授权发明专利55项，其中第一发明人授权专利23项，发表SCI检索论文20余篇。2013年创立华中科技大学GET创新团队，探索学位培养、科学研究、产品研发三者结合的培养模式，强调研究生的自主管理、产品的正向研发（创新、非复制）、工程与科学相结合的技术研究，团队的愿景为：“一流的就业、一流的学术、一流的技术”。近三年研究生毕业生就业全部为华为、大疆、小米、汇川、宁德时代、海康威视等国内著名企业。
成果资料