需求发布 成果发布 科创案例库 揭榜挂帅
技术路演 会议展览 科创联合体 项目申报
前沿动态 科技政策 院士开讲 青托工程
科技服务团 学术资源
试点城市(园区) 双创活动周
协作站点 学会服务
问题库 项目库 开源库
English
您所在的位置: 成果库 一种具有结构解耦能力的双质量块音叉角速率陀螺仪

一种具有结构解耦能力的双质量块音叉角速率陀螺仪

发布时间: 2022-07-04

来源: 试点城市（园区）

基本信息

合作方式： 技术转让
成果类型： 发明专利
行业领域：
高端装备制造产业,制造业
成果介绍

本实用新型公开了一种具有结构解耦能力的双质量块音叉角速率陀螺仪，包括上层真空封装盖板、下层硅衬底和中层单晶硅片，中层单晶硅片上设有陀螺机械结构，所述陀螺机械结构的两个子结构对称分布在质量块连接机构和两个桁架与水平直梁的组合机构的两侧，第一U型梁沿子结构的长边设置，桁架与水平直梁的组合机构通过第一U型梁与子结构连接；直梁沿子结构宽度方向设置，用于连接子结构两侧的第一U型梁。本实用新型实现了驱动模态和检测模态的运动解耦，降低了陀螺输出的正交误差，同时也实现驱动模态与检测模态为第一阶模态和第二阶模态，有效抑制常见的驱动同向、检测同向和Z向模态等干扰模态，其陀螺性能好，一致性强，抗振动干扰能力强。

成果亮点
团队介绍
成果资料