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芯越谱视——半导体薄膜断层吸收光谱仪领航者

发布时间: 2022-06-27

来源: 试点城市(园区)

基本信息

合作方式: 技术服务
成果类型: 发明专利
行业领域:
高端产业
成果介绍

芯越谱视科技有限公司                         

项目所属领域:先进制造    

参赛项目名称:芯越谱视——半导体薄膜断层吸收光谱仪领航者

主要产品:全球首创的半导体薄膜断层吸收光谱仪

核心优势:全球首创,技术领先;市场广阔,前景良好;团队专业,成本控制。

项目信息:本项目主要产品为半导体薄膜断层吸收光谱仪,该仪器突破性地提供了新型半导体薄膜不同深度光电信息。目前,已有两院院士、清北等国内外80多所高校、科研院所、企业等使用本产品或使用本产品的检测结果数据。

团队情况:专家顾问鲁广昊,西安交通大学教授,博士生导师,中组部青年千人计划学者、德国洪堡学者。其他团队成员均为交大校友或在校师生,技术专精,经验丰富。

核心技术:首次使用软等离子体源刻蚀技术对半导体薄膜实现原位光谱检测,实现对新型半导体薄膜不同深度处光电信息的提供,拥有多项专利、软著与论文研究成果。

 

成果亮点
团队介绍
成果资料