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空气中分子污染物的检测方法及铜互连结构的形成方法
发布时间: 2022-06-21
基本信息
合作方式：
技术咨询
成果类型：
发明专利
行业领域：
新一代信息技术产业,信息传输、软件和信息技术服务业
成果介绍
本发明提供了一种洁净室空气中分子污染物的检测方法，包括：提供至少一检测基板，检测基板的表面形成有灵敏层，灵敏层包括金属铜层；将检测基板放置于洁净室中预设时间，并获取检测基板的缺陷数据，缺陷数据为洁净室的空气中分子污染物于灵敏层中形成的缺陷的数据；以及，比较检测基板的缺陷数据是否小于洁净室的预设缺陷数值，若是，则洁净室的空气中分子污染物浓度正常。本发明中，利用空气中分子污染物与灵敏层形成缺陷，再获取检测基板的缺陷数据，并将该缺陷数据与预设缺陷数值相比较，若检测基板的缺陷数据小于预设缺陷数值则判定洁净室空气中分子污染物浓度正常，从而实现了方便且及时地检测洁净室空气中分子污染物。
主权利要求: 1.一种洁净室空气中分子污染物的检测方法，用于在铜制程的洁净室中检测空气中分子污染物，其特征在于，包括：提供至少一个检测基板，所述检测基板的表面形成有灵敏层，所述灵敏层覆盖所述检测基板的整面，所述灵敏层包括金属铜层；将所述检测基板放置于洁净室中预设时间，并获取所述检测基板的缺陷数据，所述缺陷数据为所述洁净室的空气中分子污染物于所述灵敏层中形成的点缺陷的数量，其中，所述灵敏层的厚度为80埃~120埃，所述预设时间为3小时~4小时；以及，比较所述检测基板的缺陷数据是否小于所述洁净室的预设缺陷数值，若是，则判定所述洁净室的空气中分子污染物浓度正常，若否，则判定所述洁净室的空气中分子污染物浓度超标。
成果亮点
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成果资料
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