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半导体设备用具有清洗液定量结构的精密洗净处理设备

发布时间: 2022-06-16

基本信息

合作方式: 技术咨询
成果类型: 实用新型专利
行业领域:
其他
成果介绍

本实用新型涉及半导体技术领域,公开了半导体设备用具有清洗液定量结构的精密洗净处理设备,包括主箱体,主箱体的外表面上设置有定量移动机构,定量移动机构的外表面上设置有固定机构,当需要改变精密洗净处理设备中的清洗液定量容量时,移动把手杆使其在第一跑道型环槽的内部进行移动,此时把手杆带动竖杆、L型杆、凸块和档盖进行移动,此时档盖沿着凹槽进行移动,在档盖移至合适位置时,停止移动把手杆,此时可通过进料槽向主箱体的内部注入清洗液,在抵至进料槽处时,将进料槽关闭,此时清洗液不会再通过进料槽进入主箱体的内部。

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