用于TFT-LCD蚀刻制程的面板品质虚拟量测方法与系统

本发明公开一种用于TFT-LCD蚀刻制程的面板品质虚拟量测方法与系统，先进制程控制单元获取至少一制程机台的制程参数资料值；量测机台获取面板品质量测值，面板品质数据处理单元将抽样的面板品质量测值先减去面板品质量测值的平均值，再除以面板品质量测值的标准偏差；关键参数挑选单元挑选关键制程参数数据值，线性模型预估单元以线性最小二乘算法建立初始预估模型；多产品效益处理单元产生初始多产品预估模型；干扰项系数处理单元得到估计值，以时间序列回归算法处理该误差值，产生干扰项系数后建立虚拟量测模型单元。本发明能对同一制程配方但不同规格的各式面板进行质量预测，降低抽样量测的频率，减轻预估模型的复杂度。