一种氧化物薄膜晶体管式的电阻测量计

本发明涉及电阻测量计技术领域，特指一种氧化物薄膜晶体管式的电阻测量计。本发明以PVA固态电解质薄膜作为栅介质，运用原子力显微镜观察PVA栅介质表面形态，其表面平整连续，无细微裂痕，有利于获得良好的器件性能。在电路中被测电阻串联前后，通过调节栅电压，维持电路中的电流保持不变，则沟道前后阻值差的绝对值即为被测电阻的阻值。与传统的伏伏法测电阻的方法相比，由于栅电压可以连续的改变，从而使沟道的电阻可以连续变化，使用氧化物薄膜晶体管式的电阻测量计测量大电阻时，可以提高被测阻值的精度。