一种混杂贵金属掺粒子和金属氧化物薄膜的集成气体传感器及其制备方法

一种混杂贵金属掺粒子和金属氧化物薄膜的集成气体传感器及其制备方法，包括基片、加热电极、导热绝缘层、检测电极、金属氧化物薄膜，加热电极制备在基片上、导热绝缘层位于加热电极和检测电极之间，金属氧化物薄膜覆盖在检测电极上，其特征在于：在金属氧化物薄膜上沉积有贵金属粒子，贵金属粒子为单原子覆盖在氧化物薄膜上，覆盖度为金属氧化物薄膜表面积的***%-10%，颗粒尺寸为***。本发明能有效提高金属氧化物薄膜气体灵敏度和稳定性，通过掺杂贵金属粒子，测试200ppm乙醇气体，灵敏度由纯金属氧化物的***提高到贵金属-金属氧化物的***；同时，金属氧化物薄膜的气敏反应温度只需要150℃。