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一种利用特斯拉线圈清理三维原子探针近局域电极的方法

发布时间: 2022-05-23

基本信息

合作方式： 技术转让
成果类型： 发明专利,新技术
行业领域：
新材料产业,制造业
成果介绍

本发明属于材料领域，具体的说是一种利用特斯拉线圈清理三维原子探针近局域电极的方法，该方法包括如下步骤：S1：首先将三维原子探针近局域电极从三维原子探针设备上取下，然后使用夹持器械将三维原子探针近局域电极固定在清理工作台上；S2：其次将特斯拉线圈尖端对准近局域电极微孔，留有1?3mm的距离；S3：检查特斯拉线圈、三维原子探针近局域电极正常后，给特斯拉线圈接通电源；通过方法步骤的设计,实现了利用特斯拉线圈尖端产生高压电火花对三维原子探针近局域电极表面脏污进行熔融处理，实现表面高效率清洁的功能，解决了聚焦离子束清洁成本高降低使用寿命的问题，提高了三维原子探针近局域电极清洁的效率。

成果亮点
团队介绍
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