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一种高灵敏电容式柔性压力传感器

发布时间: 2022-05-23

来源: 试点城市（园区）

基本信息

合作方式： 技术转让
成果类型： 发明专利,实用新型专利
行业领域：
其他
成果介绍

本实用新型提出了一种高灵敏电容式柔性压力传感器，包括PDMS柔性聚合物基底，所述PDMS柔性聚合物基底上设置有石墨烯电极层，所述PDMS柔性聚合物基底对应所述石墨烯电极层的一侧设置有第一微结构，所述石墨烯电极层之间设置有第一介电层和第二介电层，所述第一介电层对应所述第二介电层的一侧设置有第二微结构，所述第一介电层包括PDMS柔性聚合物。通过采用上述技术方案，本实用新型的柔性聚合物基底和介电层都具有敏感微结构，相比于没有微结构或单一微结构的电容式柔性压力传感器，在受到外部压力时，更容易发生形变，提高电容值的变化幅度，最终可制备出具有高灵敏度的电容式柔性压力传感器。

成果亮点
团队介绍
成果资料
产业化落地方案
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