需求发布 成果发布 科创案例库 揭榜挂帅
技术路演 会议展览 科创联合体 项目申报
前沿动态 科技政策 院士开讲 青托工程
科技服务团 学术资源
试点城市(园区) 双创活动周
协作站点 学会服务
问题库 项目库 开源库
English
您所在的位置: 成果库 一种TCO薄膜及其制备方法

一种TCO薄膜及其制备方法

发布时间: 2022-05-11

来源: 科创项目库

基本信息

合作方式： 技术转让
成果类型： 发明专利
行业领域：
节能环保产业
成果介绍

本发明公开了一种TCO（透明导电氧化物）薄膜及其制备方法。该TCO薄膜由下至上包括三层含有掺杂物的氧化锌薄膜层，且每层氧化锌薄膜层中掺杂物在氧化锌中的原子比例各不相同。该制备方法在薄膜生长过程中通过调节掺杂气体流量，形成中间和界面不同掺杂浓度的多层结构，调制TCO薄膜表面微观结构和光学性能。本发明在维持TCO膜层及其界面良好导电性的同时，可大大提高膜层的陷光效果，改善近红外光区域的光学透过率，其400-1100nm波段雾度平均值由27.3%提升至34.9%，700-2000nm近红外波段光学透过率由76%提升至77.7%，提高电池的光电转换效率。

成果亮点
团队介绍
成果资料