本发明公开了一种含苯系物废气的催化燃烧处理方法及装置系统。一种含苯系物废气的催化燃烧处理方法,将含苯系物废气和氧气同时通入含有催化剂的反应柱内催化燃烧处理,处理后的废气经气象色谱检测后进行吸附处理,最后排出;本发明还提供上述处理工艺的装置,由气体缓冲罐、氧气钢瓶、预热炉、加热炉、气相色谱仪和尾气收集处理装置组成。本发明工艺氧化活性强,能够迅速催化氧化苯系物废气,装置具有能耗低、结构简单、操作方便等特点,能够改进普通催化燃烧装置高能耗、处理效率不高和反应时间长等缺点,大大缩短了反应时间,提高了处理效率和处理能力,降低了能耗。