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本发明公开了一种弥补多结多叠层的薄膜太阳能电池微晶硅缺陷的太阳能电池及方法。该电池具有p型非晶层和n型非晶层。该方法是：按照沉积膜层的顺序，在沉积多结多叠层的薄膜太阳能电池p型微晶层之后，沉积一层p型非晶层；并在沉积微晶本征层之后，沉积一层n型非晶层。对于较厚的微晶本征层，在其生长过程中沉积一薄层本征非晶层来覆盖微晶层生长过程中因为晶粒相互挤压和晶粒异常长大所造成的裂痕缝隙和表面缺陷。通过控制p型，n型非晶层的参杂浓度，厚度，折射率，导电率，控制微晶层的晶化率60％‐80％，改善光的吸收，减少因此造成的漏电流，从而达到提升电池效率的目的。电池转换效率可提升1％—10％，并具有较好的稳定性。