小束斑X射线设备

本发明公开了一种小束斑X射线设备。传统的灯丝电子枪阴极发射点源面积大，电子源尺寸也比较大。本发明在X射线密封套筒内装有场发射电子枪阴极装置，所场发射电子枪阴极装置包括连接闪光电源的场发射灯丝，场发射灯丝与场发射电源阳极之间连接场发射电源；场发射灯丝在场发射电源产生的强电场下发射出电子束，电子束通过加速电源向加速电源阳极运动，加速后获得高能量，使其成为高能电子束，高能电子束照射到利用环状靶材冷却水装置冷却的靶上，产生X射线；产生的X射线通过铍窗射出X射线密封套筒。本发明使用场发射阴极所产生的束斑尺寸很小的电子束来激发阳极靶材，使X射线的光斑效果能够达到近似点光源效果。