一种基于氧化铋薄膜的电阻式随机读取存储器
发布时间: 2022-05-08
基本信息
本实用新型公开了一种基于氧化铋薄膜的电阻式随机读取存储器。现有的电阻式存储器的读写寿命以及稳定性较差。本实用新型存储器由重掺硅衬底、氧化铋薄膜、金属薄膜电极构成,氧化铋薄膜位于重掺硅衬底、金属薄膜电极之间,重掺硅衬底作为电阻式随机读取存储器的下电极,金属薄膜电极作为电阻式随机读取存储器的上电极。本实用新型可简化存储器的制作工艺,并能很好地与硅集成电路工艺相兼容。