测量重掺硅中氧含量的装置及方法

本发明公开了一种测量重掺硅中氧含量的装置及方法，该装置主要由脉冲激光器、聚焦透镜、样品台、出射光透镜组合、光谱仪、电脑、机械泵、真空阀门、分子泵、真空室、样品操纵杆组成；具有灵敏度高、测量时间短、样品无需特殊处理等技术特点。