一种微区分析用光谱仪
发布时间: 2022-05-08
基本信息
本发明公开了一种微区分析用光谱仪。现有光谱仪的空间分辨率一般大于10μm。本发明包括光谱仪本体、光源、Y型光纤和聚焦透镜。Y型光纤具有一段主干部分和两段分叉部分,主干部分包括一根内芯光纤以及多根环绕内芯光纤对称设置的外围光纤,内芯光纤延伸作为一个分叉部分,多根外围光纤延伸汇总为另一个分叉部分。Y型光纤的内芯光纤构成的分叉部分接入光源的光信号输出端口,外围光纤构成的分叉部分接入光谱仪本体的光信号输入端口;聚焦透镜置于Y型光纤主干部分端口的正下方。本发明结构简单、空间分辨率高、成本低、使用方便,可以分析1μm量级的微小样品。

Copyright © 2022 中国科学技术协会 版权所有 | 京ICP备16016202号-20
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