一种制备p型CuAlO透明导电薄膜的方法

本发明涉及一种制备p型CuAlO透明导电薄膜的方法。本发明首先，以CuO和AlO为原料，经过人工研磨或机械球磨混合均匀，将混合粉末装入粉末压片机，制成圆柱状靶材坯料，将靶材坯料放入刚玉坩埚中盖好后置于单晶炉中，在温度为1100C～1200C之间烧结10～12小时即得到CuAlO陶瓷靶材；然后，将烧制好的CuAlO靶材放入电子束蒸发镀膜设备的坩埚内，抽至本底真空，在不通入任何反应气体的情况下，进行电子束蒸发镀膜，控制电子束流和沉积时间即得到p型CuAlO透明导电薄膜。本发明方法制备的p型CuAlO导电靶材具有制备过程简单、烧结过程受热均匀、产物纯度高、制备过程清洁无污染。