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基于氧化锌的低压薄膜压敏电阻器

发布时间: 2022-05-08

基本信息

合作方式: 技术转让
成果类型: 发明专利
行业领域:
其他
成果介绍

本发明公开了一种基于氧化锌的低压薄膜压敏电阻器,它由绝缘基底上面沉积的两个或多个由金属电极-氧化锌薄膜-金属电极构成的基本单元串连而成,其中氧化锌薄膜为高度c轴取向的柱状晶体薄膜;本发明的阈值电压可调,制作工艺简单,适应性较强。

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